ナノの世界を開拓する超精密ナノ加工機
FANUC ROBONANO α-0iB

FANUC ROBONANO α-0iB は、ファナックのコントロール技術を結集し、機械加工の限界に挑戦する超精密ナノ加工機です。

光エレクトロニクス分野はもちろん、半導体、バイオ、医療分野など、ナノ精度が求められるハイテク機器部品の研究開発から量産まで、幅広くお役立ていただけます。

ミリング加工（同時5軸まで対応）

• ミリング用エアータービンスピンドルを搭載し、各種の超精密ミリング加工が可能です。
• スピンドルはB、C軸テーブルのどちらにも搭載可能。加工形状に合わせた加工姿勢でセットアップできます。
• 同時5軸制御機能により、小径の穴や、微細溝加工のみならず、自由曲面や各種マイクロアレイなどの複雑な形状に対応できます。

引き切り加工（同時5軸まで対応）

• 同時5軸制御された非回転工具を用いることにより、方向、角度、深さ、ピッチが連続変化するマイクロパターンなど、複雑形状にも自由自在に対応できます。
• 溝の角度も可変可能なため、回折型レンズやホログラム光学素子から医療用のマイクロ流路やバイオチップまで、設計の自由度を大幅に向上できます。

旋削加工

• 旋削用エアータービンスピンドルを搭載することで、非球面レンズなどの旋削加工に対応します。
• ミリ以下の小径レンズからφ200mmの大型レンズまで加工可能です。
• 多軸制御を利用することで、ピッチ、角度、深さが変化する複雑なフレネルレンズも加工できます。

高速引き切り加工（シャトルユニット）

• 専用のシャトルユニットを搭載することで、マイクロ溝の超精密加工が最大5本/秒という高能率で実現できます。
• 液晶用導光板や回折格子などの微細溝を短時間で加工します。
• 微細ディンプル（窪み）アレイの高能率加工も加工可能です。
• 面精度はRa 1nm台です。

機上計測機能による補正加工（ナノチェッカ）

• 加工後、機上でワーク形状の計測および補正加工が可能です。
• ワーク全面に対し3次元計測を行います。
• 軸対称形状のみならず、複雑な自由曲面形状も、対応可能です。